3D ESPI System (Q 300)

Der Q-300 -Sensor verfügt über vier Beleuchtungsrichtungen in symmetrischer Anordnung, was ihm sowohl die in-plane, als auch die out-of-plane Untersuchung von Messobjekten ermöglicht. Weiter besitzt er eine zentrale Abbildungsoptik mit einem Zoomobjektiv, welches durch ein genormtes c-mount Anschlussgewinde individuell gewechselt werden kann. Als integrierte Lichtquelle werden zwei Laserdioden mit einer Leistung von je 50mW und einer Wellenlänge von 780nm verwendet.

Durch Variation der Beleuchtungsarmlänge sind Messfelder zwischen etwa 5x5mm und kleiner, bzw. ca. 100x100mm möglich . Die Messgenauigkeit kann zwischen 0,03-1μm eingestellt werden.